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MTM-3020MA金相顯微鏡

MTM-3020MA金相顯微鏡

  • 詳情說明

特點(diǎn)：

測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

特點(diǎn)：

1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力

2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm

3. 具有高度自動(dòng)測量

4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊

5. 高速/無接觸測量

6. 同軸光/底光測量

7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
型號
MTM-3020MA
工作臺
金屬臺尺寸(mm)
500 x 330
玻璃臺尺寸(mm)
350 x 250
X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)
300 x 200
手動(dòng)Z軸行程(mm)
120
自動(dòng)Z軸行程(mm)
2
外形尺寸(mm)
825 x 660 x 910
儀器重量(kg)
130
X、Y、Z軸分辨力(μm)
0.5
自動(dòng)Z軸分辨力(μm)
0.1
示值誤差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/100) μm  (L為測量長度，單位mm)

物鏡放大倍數(shù)誤差
包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源
可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/strong>
底光照明光源
可調(diào)高亮度LED燈源
目視系統(tǒng)
影像系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù)
5X、10X、20X、50X
5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數(shù)
10X雙鏡筒
1/2”CCD攝像機(jī)
視頻總倍率
50X ~500X
142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)
單層透明膜厚度測量模組
高精度測量模式
快速測量模式
厚度測量范圍
100nm ~300nm
300nm ~500nm
500nm ~3μm
3μm ~20μm
分辨力
5nm
5nm
7.5nm
0.1μm

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